Современная электроника №6/2020

СОВРЕМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ 18 WWW.SOEL.RU СОВРЕМЕННАЯ ЭЛЕКТРОНИКА ◆ № 6 2020 нальной деятельности, её масштабом, социальными, экологическими, эконо- мическими и другими последствиями, а также полнотой реализации в про- фессиональной деятельности основ- ных функций руководства (целеполага- ние, организация, контроль, мотивация исполнителей). В проектах профессиональных стан- дартов «Оператор прецизионной фото- литографии изделий микроэлектро- ники», «Оператор прецизионного травления изделий микроэлектрони- ки», «Оператор элионных процессов изделий микроэлектроники» виды профессиональной деятельности были декомпозированы на две обобщённых трудовых функции. Описание ОТФ, входящих в вид профессиональной деятельности, и обоснование их отне- сения к конкретным уровням квалифи- кации представлены в таблицах 2а-в. Обоснование установленного уров- ня квалификации проведено с учётом тарифно-квалификационных характе- ристик, содержащихся в Едином тариф- но-квалификационном справочнике работ и профессий рабочих [10]. При выделении ОТФ разработчики проектов стандартов ориентирова- Таблица 2а. Классификатор ОТФ и составляющих их трудовых функций по направлению «Оператор прецизионной фотолитографии изделий микроэлектроники» Обобщённые трудовые функции Трудовые функции Уровень квалификации Код Наименование Код Наименование А Проведение технологических процессов формирования фоторезистивной маски изделий микроэлектроники. А/01.3 Проведение технологического процесса нанесения фоторезиста на поверхность подложки изделий микроэлектроники. 3 А/02.3 Совмещение и экспонирование фоторезистивной маски изделий микроэлектроники. А/03.3 Проявление фоторезистивной маски изделий микроэлектроники. А/04.3 Контроль параметров фоторезистивной маски изделий микроэлектроники. В Оптимизация и контроль параметров технологических процессов формирования фоторезистивной маски изделий микроэлектроники. В/01.4 Контроль параметров технологических процессов прецизионной фотолитографии изделий микроэлектроники. 4 В/02.4 Оценка влияния параметров технологического оборудования и свойств используемых материалов на контролируемые параметры технологических процессов прецизионной фотолитографии изделий микроэлектроники. В/03.4 Анализ видов и причин технологических несоответствий, возникающих при проведении процессов формирования фоторезистивной маски изделий микроэлектроники. Таблица 2б. Классификатор ОТФ и составляющих их трудовых функций по направлению «Оператор прецизионного травления изделий микроэлектроники» Обобщённые трудовые функции Трудовые функции Уровень квалификации Код Наименование Код Наименование А Проведение операций химической очистки и жидкостного прецизионного травления изделий микроэлектроники и контроль качества продукции на автоматических и полуавтоматических установках. А/01.3 Проведение операций химической очистки и жидкостного прецизионного травления в соответствии с маршрутной картой при производстве изделий микроэлектроники. 3 А/02.3 Контроль качества проведения операций химической очистки и жидкостного прецизионного травления изделий микроэлектроники путём осуществления замеров параметров на измерительном оборудовании в соответствии с контрольной картой на изделие. А/03.3 Выполнение действий при выявлении отклонений от установленных требований при проведении операций химической очистки и жидкостного прецизионного травления изделий микроэлектроники. В Проведение периодических аттестаций автоматических и полуавтоматических установок химической очистки и жидкостного прецизионного травления изделий микроэлектроники, а также реставрации непродуктовых пластин. В/01.4 Подготовка непродуктовых пластин и выполнение операций аттестации установок химической очистки и жидкостного прецизионного травления изделий микроэлектроники. 4 В/02.4 Выполнение действий при отклонении результатов аттестаций установок химической очистки и жидкостного прецизионного травления изделий микроэлектроники от контрольных границ значений параметров. В/03.4 Проведение реставрации непродуктовых пластин на автоматических и полуавтоматических установках производства изделий микроэлектроники. Таблица 2в. Классификатор ОТФ и составляющих их трудовых функций «Оператор элионных процессов изделий микроэлектроники» Обобщённые трудовые функции Трудовые функции Уровень квалификации Код Наименование Код Наименование А Проведение элионных процессов производства изделий микроэлектроники на установках ионного легирования, плазмохимического травления, осаждения и напыления, контроль качества рабочей продукции. А/01.3 Подготовка установок и материалов к проведению элионных процессов при производстве изделий микроэлектроники. 3 А/02.3 Выполнение элионных процессов на установках при производстве изделий микроэлектроники. А/03.3 Проведение измерительных операций готовой продукции после проведения элионных процессов при производстве изделий микроэлектроники. А/04.3 Ведение записей по качеству готовой продукции после завершения элионных процессов при производстве изделий микроэлектроники. А/05.3 Выявление несоответствующих стандартам изделий микроэлектроники при проведении элионных процессов. А/06.3 Анализ несоответствий изделий микроэлектроники при проведении элионных процессов. В Аттестация установок ионного легирования, плазмохимического травления, осаждения и вакуумного напыления для проведения элионных процессов производства изделий микроэлектроники. В/01.4 Подготовка мониторных (нерабочих) пластин для аттестации установок для проведения элионных процессов производства изделий микроэлектроники. 4 В/02.4 Проведение тестов готовности установок для проведения элионных процессов производства изделий микроэлектроники. В/03.4 Выполнение измерительных операций на мониторных (нерабочих) пластинах после проведения тестов готовности установок для проведения элионных процессов производства изделий микроэлектроники и перевод установок в работоспособное состояние.