СОВРЕМЕННАЯ ЭЛЕКТРОНИКА №4/2015

СОВРЕМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ 26 WWW.SOEL.RU СОВРЕМЕННАЯ ЭЛЕКТРОНИКА ◆ № 4 2015 ных на установке в единицу времени в рабочем режиме: α te = W t /N [кВт ⋅ ч/пластину], (1) где N – технологическая производи- тельность установки, пластин/час. Эффективность использования газа (реагента) в аттестуемой установке α tg определяется отношением значения расхода газа (реагента) Q t , подводимо- го к установке, к количеству пластин, обработанных на установке в единицу времени в рабочем режиме: α tg = Q t /N [литр/пластину]. (2) Расход газа Q t , подводимого к уста- новке при давлении p и температуре T, измеряется в стандартных литрах в час и определяется по формуле: Q t = Q st × p st × T/(p × T st ), (3) где Q st – расход газа при стандартных условиях: p st = 101325 Па (1 атм.) и T st = 298,16 K (25 ° C). По формуле (2) можно определить эффективность использования раз- личных газов и реагентов в виде пара и жидкости, т.е. рассчитать их расход на одну обработанную годную пласти- ну. Аналогичным образом определя- ются эффективности использования охлаждающих жидкостей (например, деионизованной воды) и вспомогатель- ных газов (например, сжатого воздуха). Расход твёрдых материалов, напри- мер, мишеней для магнетронного рас- пыления, определяется в массовых еди- ницах, в данном примере – в граммах расхода мишени на одну обработан- ную пластину. Экологическая аттестация уста- новки включает в себя: ● измерение характеристик излуче- ний, шума, вибраций, объёма и соста- ва выхлопов и сливов при эксплуа- тации установки в ждущем режиме, в рабочем режиме и в режиме с мак- симальными значениями набора опе- рационных параметров; ● сравнение полученных характери- стик с предельными значениями ПДИ и ПДК, установленными в действую- щем законодательстве или междуна- родном стандарте; ● выработка рекомендаций к узлам установки в случае превышения пре- дельных значений. Экономическая аттестация установки заключается в расчёте или предоставлении уравнений для расчё- та стоимости обработки в рабочемрежи- ме одной пластиныили стоимости часа работы установки в ждущем режиме с учётом потребляемых энергоносите- лей, материалов и реагентов, в том чис- ле на нейтрализациюи очистку выхлоп- ных газов и жидкостных сливов. В итоге, после проведения аттестации установки в ЦАТО, заказчику, которым может оказаться как разработчик обо- рудования, так и потребитель, кото- рый приобрёл установку без техноло- гии, передаётся: ● ведомость технологической атте- стации (сертификации) установки на требуемый уровень технологии изделий микро- и наноэлектроники; ● установка с записанным в её управ- ляющий компьютер заданными тех- нологическими режимами обработ- ки структур с требуемыми харак- теристиками, а также границами диапазонов возможного изменения операционных параметров; ● ведомость расхода установкой энер- гоносителей, материалов и реаген- тов на обработку одной пластины в заданном технологическом режи- ме (режимах); ● ведомость расхода установкой энер- гоносителей, материалов и реагентов в единицу времени в ждущем режиме; ● ведомость экологической аттеста- ции (сертификации) установки на соответствие требованиям россий- ского ГОСТа или международного стандарта; ● информация о технологической про- изводительности установки в каждом заданном режиме и уровнях привно- симой дефектности, создаваемых как установкой, так и технологическим процессом; ● информация по перечню регламент- ных работ на установке и срокам их проведения. Состав и структура ЦАТО Для каждой аттестуемой установки в ЦАТО должны быть предусмотрены специализированные верхние и/или боковые фланцы с выходами на изме- рительные стенды, специализирован- ные подложкодержатели с вакуумно- плотными заслонками для выделения на одной пластине десятков экспери- ментальных участков, а также специ- альные интерфейсы для встраивания установки в кластерный вакуумный контрольно-измерительный комплекс. В соответствии с функциональным назначением в состав ЦАТО должны входить следующие метрологически поверенные контрольно-измеритель- ные приборы, системы и стенды: ● приборы для измерения количества потребляемой электроэнергии, рас- хода потребляемых газообразных и жидких сред (энергоносителей); ● измерительные стенды или измери- тельные модули в составе кластерно- Метрологическое обеспечение Эталонные образцы Энергетика Технологические среды Инфраструктурное обеспечение Надзорные организации ЦКП ФГУП «НИИФП им. Ф.В. Лукина» Измерительно- аналитический комплекс Программ- ное обес- печение Анализ и обработка данных Методики Центр управления аттеста- ционным процессом Аттестуемое технологическое оборудование ГОСТы Рис. 2. Структура центра аттестации технологического оборудования (ЦАТО) на базе ФГУП «НИИФП им. Ф.В. Лукина» © СТА-ПРЕСС