СОВРЕМЕННАЯ ЭЛЕКТРОНИКА №4/2015

СОВРЕМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ 25 WWW.SOEL.RU СОВРЕМЕННАЯ ЭЛЕКТРОНИКА ◆ № 4 2015 дология также предусматривает оцен- ку параметров формируемой модели и проверку гипотез о её статистиче- ской значимости. МПО для построения эффективной математической модели процесса обычно требует проведения от 16 до 40 экспериментов в заданных по пла- ну точках пространства Δ A j . Поэтому необходимо разработать специализи- рованный подложкодержатель для атте- стуемой установки, вакуумно-плотная заслонка которого может выделять до 49 участков под каждый эксперимент на пластине без её смены. Кроме того, необходимо иметь автоматизирован- ную измерительную систему, которая должна автоматически измерять тре- буемую технологическую или функ- циональную характеристику в точках на выделенных участках подложки (до 49 участков и точек). Метод отработки режимов технологи- ческих операций на основеМПО являет- ся достаточно точным, универсальным по отношению к любым технологиче- ским ифункциональным характеристи- кам и базируется на хорошо апробиро- ванном математическом и программ- ном обеспечении. Следует приобрести специализированное программное обе- спечение для построения и обработки полиномиальных уравнений. МПО позволяет определить значения технологических допусков на опера- ционные параметры δ A j и их средних значений A – j в пространстве Δ A j . В най- денных допусках значения техноло- гических характеристик операции или функциональных характеристик выходной структуры должны лежать в требуемых диапазонах. Затем проводится сравнение полу- ченных технологических допусков на операционные параметры δ A j со сред- неквадратичными ошибками датчиков, используемых для их выставления σ j , и среднеквадратичной ошибкой, изме- ряемой технологической или функцио- нальной характеристики σ . Для того чтобы аттестуемая установ- ка удовлетворяла требованиям серий- ного и массового производства, долж- ны выполняться следующие условия: σ j  0,1 δ A j и 12 σ  δ A j , при выполнении которых нужный для получения требу- емых значений технологических или функциональных характеристик рабо- чий режим обработки считается най- денным, и значения операционных параметров устанавливаются в точ- ках A – j . После этого отработанный тех- нологический режим записывается в управляющий компьютер установки. Стабильность работы установки в полученном технологическом режиме проверяется путём проведения опера- ции обработки три раза в день (утром, в середине дня и вечером) в течение трёх дней. В случае установления явной суточной зависимости процесса обра- ботки производится анализ её причин и вырабатываются рекомендации по доработке оборудования. Энергетическая аттестация установки заключается в определении количества энергоносителей и мате- риалов, расходуемых установкой на обработку одной пластины в рабо- чем (отработанном технологическом) режиме [11]. Электрическая эффективность атте- стуемой установки α te определяется отношением значения подводимой к установке электрической мощности W t к количеству пластин, обработан- Реклама © СТА-ПРЕСС