Современная электроника №3/2022

ЭЛЕМЕНТЫ И КОМПОНЕНТЫ 31 WWW.SOEL.RU СОВРЕМЕННАЯ ЭЛЕКТРОНИКА ◆ № 3 2022 Рис. 2. МЭМС-акселерометр типа МА-10 Рис. 3. МЭМС-акселерометр типа МА-20 мированных ёмкостей в выходной сигнал датчика. Геометрия ЧЭ во время проектирования проходит этап моде- лирования, на котором определяют резонансные частоты и влияние меха- нических ударов одиночного действия. Плата преобразования ёмкость-код для датчиков типа МА-10 формиру- ет выходной сигнал датчика в циф- ровом виде – интерфейс UART. Нали- чие 32-разрядного микроконтроллера позволяет реализовать температур- ную компенсацию. Сам акселерометр выполнен в стандартном металлосте- клянном корпусе типа 151.15-8 (про- изводства ЗАО «МАРС», г. Торжок) раз- мерами 19,5 × 14,5 × 5 мм. Несомненным достоинством МА-10 является малый уровень шумов порядка 100 μg (1 σ ) в диапазоне ±50g. Другие характеристики МА-10: ● диапазон измерения ускорения: ±50g (возможен заказной диапазон); ● СКО «шума» выходного сигнала: 2,5mg; ● спектральная плотность «шума»: 0,3mg/ √ Гц; ● напряжение питания: 3,3 В; ● потребление тока: 2 мА. МЭМС-акселерометр МА-20 выдаёт аналоговый выходной сигнал в виде напряжения, пропорционального проекции кажущегося ускорения на измерительную ось. ЧЭ вместе с пла- той преобразования размещены в кор- пусе размерами 38 × 26 × 16 мм, МА-20 – стойкий к внешним воздействующим факторам, малошумящий. От предыду- щей модели МА-20 отличается, в первую очередь, существенно более широкой полосой пропускания. Другие характеристики МА-20: ● диапазон измерения ускорения: ±5g (возможно заказное значение); ● полоса пропускания по уровню –3 дБ: > 250 Гц; ● спектральная плотность шума: 25 μg/ √ Гц; ● напряжение питания: 5 В; ● потребление тока: < 30 мА. Исследования изготовленных образ- цов МЭМС-акселерометров проводи- лись на автоматизированном стенде c поворотным столом, так, чтобы ось чув- ствительности датчика была перпенди- кулярна оси вращения центрифуги. Необходимое ускорение, подаваемое на МЭМС-акселерометр, обеспечи- валось путём вращения поворотно- го стола центрифуги. Разработанное программное обеспечение позволяет проводить испытания в автоматиче- ском режиме: задавать необходимую Реклама