Современная электроника №6/2021

СОВРЕМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ 18 WWW.SOEL.RU СОВРЕМЕННАЯ ЭЛЕКТРОНИКА ◆ № 6 2021 3D-печати и литографии без маски. Система позволяет изготавливать объекты с размерами элементов от сотен нанометров до нескольких микрон с возможностью достижения оптического качества поверхностей деталей. Основные области приме- нения системы: ● микрооптика, дифракционнаяоптика; ● оптика межфланцевого уровня; ● этикетки с оптической защитой; ● датчики, включая МЭМС; ● фотонныекристаллыиметаматериалы; ● естественные науки; ● биомедицинские устройства; ● биомиметики (наноматериалы, ими- тирующие свойства естественных биоматериалов); ● микроробототехника; ● быстрое прототипирование; ● дизайнерская механика; ● микрофлюидика; ● мелкосерийное производство; ● устройства для микроманипуляций. Некоторые нано- и микрострук- туры, изготовленные с помощью систем Photonic Professional GT при- ведены на рис. 19. Приведём приме- ры применения системы в некото- рых областях. Рис. 19. Примеры изделий, изготовленных с помощью систем Photonic Professional GT Рис. 20. Микроминиатюрные капиллярные системы, изготовленные методом 3D-печати Рис. 21. Микролинзовый объектив CMOS- камеры С помощью микро- 3D-печати мож- но быстро и эффективно изготавли- вать активные микрофлюидные ком- поненты, обеспечивающие управление микропотоками жидкостей с помо- щью микронасосов и микроклапанов. На рис. 20 приведены образцы изделий для микрофлюидики, изготовленные при помощи рассматриваемой систе- мы 3D-печати. Исследователи Штутгартского универ- ситета использовали систему Photonic Professional GT для печати линз микро- объективов с разнымифокусными рас- стояниями на кристалле КМОП (CMOS) матрицы датчика высокого разрешения (см. рис. 21). В такой матрице все изо- бражения считываются одновремен- но и преобразуются в изображение со значительно увеличенным разре- шением в центре. Датчики, выполнен- ные подобнымметодом, обеспечивают очень широкие углы обзора, что ранее достигалось только при использовании нескольких видеокамер. Датчики изо- бражения с такими характеристиками могут найти применение в автомобилях, смартфонах и медицинских приборах. Заключение Уже сегодня 3D-принтеры позволяют создавать изделия, которые иным спо- собом изготовить либо крайне сложно, либо вообще невозможно. За счёт своей гибкости по мере совершенствования технологий 3D-печать станет универ- сальным повсеместно применяемым методом промышленного производ- ства деталей и компонентов различ- ных размеров со сложной геометрией и уникальными свойствами. Литература 1. URL: https://bmf3d.com/. 2. URL: https://www.nanoscribe.com/en/ products.