Современная электроника №8/2018

ЭЛЕМЕНТЫ И КОМПОНЕНТЫ 36 WWW.SOEL.RU СОВРЕМЕННАЯ ЭЛЕКТРОНИКА ◆ № 8 2018 Точность движения: инерциальные устройства «Лаборатории Микроприборов» Рис. 2. Чувствительный элемент ДУС серии ММГК Рис. 3. Вариант исполнения МЭМС-акселерометра серии 201МСУ1Л Рис. 4. Вариант блока датчиков ФГ (МГ-10) в цилиндрическом корпусе Рис. 1. Датчик удара КМ1-200 Зеленоградская компания ООО «ЛМП», используя собственные конструкторско-технологические наработки, с опорой на опыт зарубежных производителей МЭМС-компонентов серийно выпускает широкую гамму датчиков угловой скорости, акселерометров, инерциальных измерительных модулей и датчиков удара для различных отраслей. Александр Бекмачев (bae@favorit-ec.ru) , Алексей Тимошенков (at@mp-lab.ru ) , Александр Каменский (ak@mp-lab.ru ) «Лаборатория Микроприборов» была основана в 2012 г. в тесном взаимодей- ствии с МИЭТ. В настоящее время ком- пания специализируется на разработке и производстве инерциальных микро- механических датчиков и устройств на их основе. Обладая собственными тех- нологиями изготовления микромеха- нических устройств, ООО «ЛПМ» про- должает развивать их в соответствии с потребностями российского рынка. Основными продуктами компании являются микромеханические гиро- скопы, акселерометры и инерциаль- ные измерительные системы. В 2016 г. ООО «ЛМП» было включено в состав резидентов ОЭЗ «Зеленоград». Компания накопила большой опыт в области разработки и производства микросистемной техники, а также в сопутствующих областях, в частно- сти в испытаниях и калибровке инер- циальных датчиков и систем. Количе- ство поставленных заказчикам инер- циальных датчиков превысило 5000 условных осей. Среди изделий полного цикла разра- боткиипроизводстваООО«ЛМП» необ- ходимо в первуюочередь отметить дат- чик удараКМ1-200 (см. рис. 1). Этот ком- понент с ударной прочностью 30 000 g представляет собой нормально разом- кнутыйМЭМС-ключ вметаллокерамиче- скомкорпусе размерами7,62 × 7,62 × 2,5мм, обеспечивающийобратимое замыкание контактов от номинальнойперегрузкив 200 g при линейном ударе или при цен- тростремительном ускорении 3000 g во время вращения. Отечественный чувствительный эле- мент применён и в датчике угловой ско- рости (ДУС) серии ММГК (см. рис. 2). Эти гироскопы получили прочный внешний корпус и имеют диапазон измерений ±100…±10 000°/с. МЭМС-акселерометрысерии201МСУ1Л (см. рис. 3) такжеизготавливаютсянабазе комплектующих отечественного про-