СОВРЕМЕННАЯ ЭЛЕКТРОНИКА №7/2015

ЭЛЕМЕНТЫ И КОМПОНЕНТЫ 24 WWW.SOEL.RU СОВРЕМЕННАЯ ЭЛЕКТРОНИКА ◆ № 7 2015 Современные МЭМС-продукты компании Analog Devices Часть 2 В первой части статьи, опубликованной в журнале «Современная электроника» (№ 6-2015), представлена история создания микросхем с интегрированными МЭМС компании Analog Devices. Во второй части приведены параметры и рассмотрены особенности современных аналоговых и цифровых акселерометров и гироскопов, выпускаемых компанией. Юрий Петропавловский (г. Таганрог, Ростовская обл.) С ОВРЕМЕННЫЕ МЭМС- ПРОДУКТЫ В каталоге Analog Devices 2015 года МЭМС-продукты представлены в сле- дующих категориях: ● акселерометры серии ADXLxxx (более 25 типов приборов); ● гироскопы серии ADXRSxxx (13 ти- пов); ● подсистемы МЭМС акселерометров iSensor серии ADIS16xx (12 типов); ● подсистемы МЭМС гироскопов iSensor серии ADIS16xx (9 типов); ● МЭМС инерциальные измеритель- ные модули iSensor серии ADIS16xx (13 типов) [5]. Классификационные параметры акселерометров, гироскопов и подси- стем iSensor компании на основе дан- ных технических описаний (специфи- каций) конкретных приборов приведе- ны в таблице (в сводных таблицах на сайте ADI имеются неточности и про- белы). У таблицы есть ряд важных особен- ностей: ● Диапазон ускорений акселеромет- ров измеряется в единицах g (g = = 9,80665 м/с 2 ), в подсистемах аксе- лерометров, предназначенных для измерения углов наклона (инклино- метрах) – в градусах. Диапазон угло- вых скоростей гироскопов и подси- стем измеряется в градусах на секун- ду ( ° /с), знак ускорения, угла наклона и угловой скорости определяет направление соответствующих век- торов. Значения ускорений или угло- вых скоростей, приведённые в табли- це через дробь, обычно означают, что они могут выбираться пользователя- ми, однако для некоторых микросхем разные значения параметров опреде- ляются их исполнением. ● Шумовые параметры акселероме- тров компании обычно выражены в единицах спектральной плотно- сти шума – мкg/ Гц или мg/ Гц , одно значение плотности шума соответ- ствует типовому, два значения плот- ности шума, приведённые в таблице через дефис, обычно означают типо- вые параметры для различных осей измерения (X, Y, Z). Для некоторых приборов шум выражается в значе- ниях долей младшего разряда выход- ного цифрового кода – n LSB rms, бо ′ льшим значениям n соответству- ет и бо ′ льший уровень шума. Значе- ния шумовых параметров, выражен- ные двумя числами через дефис, соот- ветствуют типовым значениям при различных режимах работы при- бора или различных осях измере- ния. Шумовые параметры гироско- пов выражены в соответствующих Классификационные параметры акселерометров, гироскопов и подсистем iSensor компании Analog Devices Назначение Тип прибора Число осей Диапазон ускорений, угловых скоростей (±) Шумовые параметры Тип выхода Чувствительность Ток потребления Uпит, В Диапазон температур, ° С Примечания Акселерометры ADXL363 3 2/4/8 g 175 – 920 мкg/ Гц SPI (12 бит) 1 – 4 мg/LSB 0,27 – 13 мкА 1,6 – 3,5 –40…+85 2013 г., с датчиком температуры ADXL375 3 200 g 5 мg/ Гц SPI, I 2 C 49 мg/LSB 145 мкА 2 – 3,6 –40…+85 2013 г. ADXL313 3 0,5/1/2/4 g 150 – 250 мкg/ Гц SPI, I 2 C 128 – 1024 LSB/g 170 мкА 2 – 3,6 –40…+105 2013 г. ADXL377 3 200 g 2,7 – 4,3 мg/ Гц аналоговый 6,5 мВ/g 300 мкА 1,8 – 3,6 –40…+85 2012 г., корпус 3 × 3 × × 1,45 мм ADXL362 3 2/4/8 g 175 – 920 мкg/ Гц SPI, (12 бит) 1 – 4 мg/LSB 1,8 мкА 1,6 – 3,5 –40…+85 2012 г., микромощный ADXL350 3 1/2/4/8 g 1,1 – 1,7 LSB rms SPI, I 2 C 1,95 – 15,63 мg/ LSB 166 мкА 2 – 3,6 –40…+85 2012 г. ADXL344 3 2/4/8/16 g 1,5 LSB rms SPI, I 2 C 32 – 256 LSB/g 140 мкА 1,7 – 2,75 –40…+85 2012 г., микромощный ADXL343 3 2/4/8/16 g 1,1 LSB rms SPI, I 2 C 32 – 256 LSB/g 140 2 – 3,6 –40…+85 2012 г. ADXL212 2 2 g 500 мкg/ Гц ШИМ 12,5 %/g 0,7 мА 3 – 5,25 –40…+85 2011 г., ШИМ-выход ADXL206 2 5 g 110 мкg/ Гц аналоговый 312 мВ/g 0,7 мА 4,75 – 5,25 –40…+175 2011 г., прецизионный, термостойкий ADXL312 3 1,5/3/6/12 g 340 мкg/ Гц SPI, I 2 C 43 – 345 LSB/g 170 мкА 2 – 3,6 –40…+105 2010 г. ADXL337 3 3 g 175 – 300 мкg/ Гц аналоговый 300 мВ/g 300 мкА 1,8 – 3,6 –40…+85 2010 г., корпус 3 × 3 × × 1,45 мм ADX346 3 2/4/8/16 g 1,1 – 1,5 LSB rms SPI, I 2 C 32 – 256 LSB/g 140 мкА 1,7 – 2,75 –40…+85 2010 г., микромощный ADXL327 3 2 g 250 мкg/ Гц аналоговый 420 мВ/g 350 мкА 1,8 – 3,6 –40…+85 2009 г., корпус 3 × 3 × × 1,45 мм © СТА-ПРЕСС