СОВРЕМЕННАЯ ЭЛЕКТРОНИКА №6/2015

ЭЛЕМЕНТЫ И КОМПОНЕНТЫ 45 WWW.SOEL.RU СОВРЕМЕННАЯ ЭЛЕКТРОНИКА ◆ № 6 2015 ловках наведения оперативно-так- тических ракетных комплексов «Ис- кандер-К» [3, 4]. Дальнейшее развитие МЭМС-про- дуктов компании получило в семей- стве интегральных датчиков движения iSensor ® , объединяющих уже описан- ные ёмкостные интегральные структу- ры со схемами аналоговой и цифро- вой обработки сигналов повышен- ной функциональности. Уже в 2007 г. номенклатура микросхем ADIS16xxx семейства iSensor насчитывала око- ло 20 типов различных интегральных акселерометров и гироскопов с разной цифровой обработкой сигналов. Во второй части статьи будут рас- смотрены современные МЭМС-продук- ты компании Analog Devices. Л ИТЕРАТУРА 1. www.analog.com/library/analogDialogue/ archives.html#vol27. 2. www.analog.com/library/analogDialogue/ archives.html#vol37. 3. www.bulgari-istoria-2010.com . 4. 9К720 Искандер-SS-26 STONE. www.bulgari- istoria-2010.com/booksBG/9K720%20 ISKANDER.pdf. С. 24. 5. www.analog.com/ru/index.html. 6. Холикулов Э.Х., Султанов К.С., Исмаи- лов Х.М., Логинов П.В. Составляющие эле- менты системы мониторинга вибрации и колебаний КНК-270. Горный вестник Узбекистана. 2014. №1. С. 62. www.ngmk.uz/ vestnik/vest_archive/2014/56.pdf. Узел тестиро- вания МЭМС Канал Кориолиса Генератор колебаний ГПЗ/стабилизатор 2,5 В ИОН 180 кОм 1% ≈ 9 кОм ± 1% ≈ 9 кОм ± 1% Выход TEMP + – 5 В 100 нФ 100 нФ 22 нФ ADXRS150 22 нФ 47 нФ 100 нФ C OUT R OUT R SEN1 R SEN2 5G 4G 3A 2G 1F 1D 1C 1B 2A 1E 3G 7D 7C 7B 6A 7F 6G 7E 5A 4A ST1 SP1 SP2 SP4 SP3 SP5 PGND AGND π DEMOD AVCC GMID SUMJ PTAT ST2 Рис. 12. Структура микросхемы ADXRS150 Рис. 13. Трёхосевой акселерометр ADXL330 Р еклама © СТА-ПРЕСС