СОВРЕМЕННАЯ ЭЛЕКТРОНИКА №3/2015

СОВРЕМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ 19 WWW.SOEL.RU СОВРЕМЕННАЯ ЭЛЕКТРОНИКА ◆ № 3 2015 а б в 1 мм 1 мм 1 мм а б в 1 мм 1 мм 1 мм Рис. 3. Фотоизображения поверхности DBC-подложки ( × 150): а – сторона а ; б – сторона б ; в – поверхность медной фольги марки М0б Рис. 4. Фотоизображения поверхности DBC-подложки после травления в азотной кислоте ( × 150): а – сторона а ; б – сторона б ; в – поверхность медной фольги марки М0б личить отдельные кристаллы меди, их форму и размеры (см. рис. 4а и 4б). На этих фотографиях видно, что на сто- роне а зёрна меди имеют размеры порядка 1–2,5 мм, что в среднем в два раза крупнее зёрен на стороне б . Это отличие, возможно, обусловлено раз- личными температурными режимам процесса металлизации для каждой из сторон. Такая структура металли- зации создаёт шероховатость класса 9в с Rа = 0,24 ± 0,03 мкм на стороне а и Rа = 0,21 ± 0,02 мкм на стороне б . Изме- рения проводились щуповым профило- метром TR220 (точность ±0,01 мкм) по ГОСТ 2789-73. Шероховатость у кера- мики DBC-подложек была определе- на после стравливания медной метал- лизации азотной кислотой с последу- ющей промывкой дистиллированной водой и с обеих сторон составила, в среднем, Rа = 0,20 ± 0,02 мкм (класс 9в)(см. рис. 5). Такое значение шеро- ховатости указывает на то, что перед металлизацией, для увеличения проч- ности сцепления с медью, керамиче- ские подложки подвергались механи- ческой обработке. Различное поликристаллическое строение металлизации приводит к разнице электрического сопротив- ления сторон а и б , поскольку меж- кристаллическое сопротивление вно- сит большой вклад в общее сопротив- ление. На стороне б поликристаллов больше, чем на стороне а и, соответ- ственно, граней, которые создают дополнительное сопротивление. Для подтверждения этого вывода на обеих сторонах DBC-подложки было измере- но удельное сопротивление металли- зации. Измерения проводились циф- ровым прецизионным мультиме- тром Tektronix DMM4040 (точность 1 × 10 –7 Ом). Результаты этих измере- ний представлены в таблице 1. Из данных, приведённых в таблице 1, видно, что на стороне а сопротивление почти на 10% ниже, чем на стороне б . Такое различие в сопротивлении сле- дует учитывать при разработке топо- а в б Рис. 5. Изображения поверхностной структуры: а – керамическая подложка марки ВК100; б – керамическая подложка марки ВК96; в – DBC-подложка