СОВРЕМЕННАЯ ЭЛЕКТРОНИКА №2/2016

ПРИБОРЫ И СИСТЕМЫ 30 WWW.SOEL.RU СОВРЕМЕННАЯ ЭЛЕКТРОНИКА ◆ № 2 2016 Для выполнения программы импортозамещения в области СБИС требуются современные автоматизированные средства измерений, которые должны обладать не только передовыми техническими характеристиками, но и соответствовать государственным метрологическим стандартам. Новый универсальный российский Тестер СБИС FORMULA ® HF Ultra создан для решения задач разработки, производства, входного контроля и испытаний широкой номенклатуры новейших микросхем. Наталья Елисеева, Дмитрий Шелевер, Антон Климовских, Олег Григорьев, Рашит Шарипов, Андрей Коваль, Роман Косилов, Влад Болгов, Алексей Кривенок, Алексей Синопальников (Москва) FORMULA ® HF Ultra – новое российское средство измерений ультравысокочастотных СБИС Стратегия импортозамещения в обла- сти интегральных схем требует от электронной отрасли долгосрочных и масштабных инноваций. Ключевым фактором в общей организационно- технической перестройке микроэлект- роники является создание отечествен- ных автоматизированных средств измерений (СИ), соответствующих требованиям к комплексной провер- ке и испытаниям новой высокотехно- логичной продукции: быстродействую- щих СБИС типа «система на кристалле» (СнК), цифровой логики, микросхем статической и динамической памя- ти запоминающих устройств, а также СБИС АЦП и ЦАП. Актуальность разработки отечествен- ных СИ взамен зарубежных продикто- вана не только режимом санкций, кото- рый имеет преходящий характер, но прежде всего – требованием метро- логического обеспечения единства измерений при проверке параметров и функций микросхем. Основой метрологического обеспе- чения измерений и испытаний явля- ются единые стандарты и реализую- щие их утверждённые типовые СИ, которые должны быть полностью метрологически обеспечены при их разработке, производстве и экс- плуатации. Очевидно, что для обеспечения метрологического единства необходи- мо управление жизненным циклом СИ и государственный надзор со стороны Росстандарта, выполняемый, согласно закону, посредством: ● метрологической экспертизы кон- структорской, программной, тех- нологической и метрологической документации на СИ при утвержде- нии типа СИ; ● метрологического надзора государ- ства при эксплуатации утверждённо- го типа СИ. Поскольку ни один зарубежный поставщик СИ не предоставляет на экспертизу Росстандарта указанные документы, метрологическая эксперти- за и метрологический надзор при экс- плуатации импортного оборудования реализуются с большими ограничени- ями, что создаёт существенные риски в системе метрологического единства измерений СБИС, а значит и в системе испытаний в целом. Таким образом, создание собствен- ных СИ для испытаний СБИС следует считать важнейшей задачей обеспече- ния национальной технологической безопасности. Р ОССИЙСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ Чтобы удовлетворить требованиям программ импортозамещения СБИС, предприятие ФОРМ (Москва) разра- ботало и освоило выпуск нового оте- чественного типового средства измере- ний – ультравысокочастотного Тесте- ра СБИС FORMULA ® HF Ultra (см. рис. 1). Тестер предназначен для комплексно- го автоматизированного функциональ- ного и параметрического контроля микросхем. Прибор является флагма- ном в линейке российских высоко- частотных Тестеров FORMULA ® HF. Тестер решает задачу импортозаме- щения современных зарубежных тесте- ров СБИС, применяемых для верифи- Рис. 1. Внешний вид Тестера FORMULA ® HF Ultra