СОВРЕМЕННАЯ ЭЛЕКТРОНИКА №4/2015

СОВРЕМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ 22 WWW.SOEL.RU СОВРЕМЕННАЯ ЭЛЕКТРОНИКА ◆ № 4 2015 Центр аттестации технологического оборудования – необходимое звено в цепи микроэлектронного производства В статье обосновывается необходимость создания в России центра аттестации технологического оборудования (ЦАТО), который позволит сертифицировать установки под определённый уровень микроэлектронной технологии и на соответствие требованиям экологических стандартов. Рассмотрены виды аттестации оборудования, а также основные функции, состав и структура ЦАТО. Виктор Быков, Александр Гудков, Валерий Киреев (Москва) Современный подход к созданию технологического оборудования для производства интегральных микро- и наносхем основан на оптимальном сочетании технологических операций в составе автоматической кластерной установки, содержащей загрузочные камеры, а также транспортные и тех- нологические модули для проведения определённых операций. Перемещение пластин между камерами и модулями такой установки происходит в вакууме. Примером такого оборудования мо- жет служить установка для формирова- ния системы металлизации микросхем ENDURA PVD производства компании Applied Materials (США) [2] (см. рис. 1). На этом рисунке видны две загрузочные камеры с выходом в чистокомнатное помещение, два транспортных шести- угольных модуля и шесть процессных модулей. Для получения высокого каче- ства металлизации в таких установках все операции выполняются с высокой скоростью и без выноса пластины из вакуума, так как в противном случае образуются переходные слои, кото- рые ухудшают качество металлизации и приводят к браку. Оборудование подобного типа име- ет несколько десятков тысяч различных датчиков и, как правило, четыре уров- ня доступа: 1. Операторский , который обеспе- чивает доступ к технологическим режимам операций, установлен- ным в оборудовании, т.е. записан- ным в управляющий компьютер это- го оборудования; 2. Технологический , который позво- ляет создавать на оборудовании новые технологические режимы и модернизировать старые; 3. Диагностический (наладоч- ный), который позволяет проводить диагностику работы узлов оборудо- вания и их наладку; 4. Контрольный , который позволяет производителю оборудования уста- навливать или изменять коэффици- енты (константы), записанные в про- грамму работы оборудования, а также модернизировать узлы оборудования. Такое сложное технологическое обо- рудование обычно поставляется заказ- чику с предварительно установленным набором технологических режимов (операций) и обладает сертификата- ми соответствия требованиям между- народных энергетических и экологи- ческих стандартов. При этом стоимость оборудования растёт с увеличением количества установленных техноло- гических операций. В настоящее время ведущие ком- пании, разрабатывающие и выпуска- ющие технологическое оборудова- ние для производства изделий микро- и наноэлектроники, такие как Applied Materials (США) или Tokyo Electron Limited (Япония), имеют собственные специализированные центры для атте- стации установок, как в виде автоном- ных модулей, так и в виде кластерных комплексов [3]. Такие центры оснаще- нышироким набором дорогостоящих контрольно-измерительных и вычис- Рис. 1. Установка для формирования слоёв металлизации микросхем ENDURA PVD компании Applied Materials (США) © СТА-ПРЕСС